Comprehensive Stress Effect of Thin Coatings and Silicon-Carbon Lattice Mismatch on Nano-Scaled Transistors with Protruding Poly Gate.

Lee, Chang-Chun; Huang, Pei-Chen.
J Nanosci Nanotechnol; 20(2): 760-768, 2020 Feb 01.
Artigo em Inglês | MEDLINE | ID: mdl-31383071

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