Development of line-shaped optical system for green laser annealing used in the manufacture of low-temperature poly-Si thin-film transistors.
Appl Opt
; 45(19): 4709-14, 2006 Jul 01.
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| ID: mdl-16799686
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Colección:
01-internacional
Base de datos:
MEDLINE
Idioma:
En
Revista:
Appl Opt
Año:
2006
Tipo del documento:
Article
País de afiliación:
Japón