Development of line-shaped optical system for green laser annealing used in the manufacture of low-temperature poly-Si thin-film transistors. | Appl Opt;45(19): 4709-14, 2006 Jul 01. | MEDLINE

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Development of line-shaped optical system for green laser annealing used in the manufacture of low-temperature poly-Si thin-film transistors.

Okamoto, Tatsuki; Morikawa, Kazutoshi; Sono, Atsuhiro; Sato, Yukio; Nishimae, Junichi.

Afiliación

Okamoto T; Advanced Technology Research and Development Center, Mitsubishi Corporation, Japan. Okamoto.Tatsuki@ah.MitsubishiElectric.co.jp

Appl Opt ; 45(19): 4709-14, 2006 Jul 01.

Article en En | MEDLINE | ID: mdl-16799686

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Colección: 01-internacional Base de datos: MEDLINE Idioma: En Revista: Appl Opt Año: 2006 Tipo del documento: Article País de afiliación: Japón

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