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300 mm reference wafer fabrication by using direct laser lithography.
Rhee, Hyug-Gyo; Kim, Dongik; Hong, Seung-Ki; Lee, Yun-Woo.
Afiliación
  • Rhee HG; Space Optics Research Center, Korea Research Institute of Standards and Science, Daejeon 305-340, Republic of Korea. hrhee@kriss.re.kr
Rev Sci Instrum ; 79(10): 103103, 2008 Oct.
Article en En | MEDLINE | ID: mdl-19044698
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Texto completo: 1 Colección: 01-internacional Base de datos: MEDLINE Idioma: En Revista: Rev Sci Instrum Año: 2008 Tipo del documento: Article
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