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Adhesion force measurement between the stamp and the resin in ultraviolet nanoimprint lithography--an investigative approach.
Perumal, Jayakumar; Yoon, Tae Ho; Jang, Hwan Soo; Lee, Jae Jong; Kim, Dong Pyo.
Afiliación
  • Perumal J; Department of Fine Chemical Engineering and Chemistry, Chungnam National University, Yuseong-Gu, Daejeon 305-764, Korea.
Nanotechnology ; 20(5): 055704, 2009 Feb 04.
Article en En | MEDLINE | ID: mdl-19417363

Texto completo: 1 Colección: 01-internacional Base de datos: MEDLINE Asunto principal: Fotograbar / Nanotecnología / Nanoestructuras / Dimetilpolisiloxanos / Resinas Epoxi / Metacrilatos Idioma: En Revista: Nanotechnology Año: 2009 Tipo del documento: Article

Texto completo: 1 Colección: 01-internacional Base de datos: MEDLINE Asunto principal: Fotograbar / Nanotecnología / Nanoestructuras / Dimetilpolisiloxanos / Resinas Epoxi / Metacrilatos Idioma: En Revista: Nanotechnology Año: 2009 Tipo del documento: Article
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