In situ real-time monitoring of changes in the surface roughness during nonadiabatic optical near-field etching. | Nanotechnology;21(35): 355303, 2010 Sep 03. | MEDLINE

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In situ real-time monitoring of changes in the surface roughness during nonadiabatic optical near-field etching.

Yatsuii, T; Hirata, K; Tabata, Y; Nomura, W; Kawazoe, T; Naruse, M; Ohtsu, M.

Afiliación

Yatsuii T; School of Engineering, The University of Tokyo, Bunkyo-ku, Tokyo, Japan. yatsui@ee.t.u-tokyo.ac.jp

Nanotechnology ; 21(35): 355303, 2010 Sep 03.

Article en En | MEDLINE | ID: mdl-20689169

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Texto completo: 1 Colección: 01-internacional Base de datos: MEDLINE Idioma: En Revista: Nanotechnology Año: 2010 Tipo del documento: Article País de afiliación: Japón

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