High speed nano-metrology. | Rev Sci Instrum;82(4): 043710, 2011 Apr. | MEDLINE

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High speed nano-metrology.

Humphris, Andrew D L; Zhao, Bin; Catto, David; Howard-Knight, Jeremy P; Kohli, Priyanka; Hobbs, Jamie K.

Afiliación

Humphris AD; Infinitesima Ltd, Oxford Centre for Innovation, Mill St., Oxford OX2 0JX, United Kingdom.

Rev Sci Instrum ; 82(4): 043710, 2011 Apr.

Article en En | MEDLINE | ID: mdl-21529016

Asunto(s)

Microscopía de Fuerza Atómica/métodos; Nanotecnología/métodos; Calibración; Análisis de Elementos Finitos; Microscopía de Fuerza Atómica/instrumentación; Nanotecnología/instrumentación; Semiconductores; Silicio; Factores de Tiempo

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Texto completo: 1 Colección: 01-internacional Base de datos: MEDLINE Asunto principal: Microscopía de Fuerza Atómica / Nanotecnología Idioma: En Revista: Rev Sci Instrum Año: 2011 Tipo del documento: Article País de afiliación: Reino Unido

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