Miniaturized acceleration sensors with in-plane polarized piezoelectric thin films produced by micromachining.

Shanmugavel, Saravanan; Yao, Kui; Luong, Trung Dung; Oh, Sharon Roslyn; Chen, Yifan; Tan, Chin Yaw; Gaunekar, Ajit; Ng, Peter Hon Yu; Li, Marchy Hing Leung

Shanmugavel, Saravanan; Yao, Kui; Luong, Trung Dung; Oh, Sharon Roslyn; Chen, Yifan; Tan, Chin Yaw; Gaunekar, Ajit; Ng, Peter Hon Yu; Li, Marchy Hing Leung.

Afiliación

Shanmugavel S; Institute of Materials Research and Engineering, A-STAR (Agency for Science, Technology and Research), Singapore.

IEEE Trans Ultrason Ferroelectr Freq Control ; 58(11): 2289-96, 2011 Nov.

Article en En | MEDLINE | ID: mdl-22083762

Asunto(s)

Aceleración; Acústica/instrumentación; Membranas Artificiales; Sistemas Microelectromecánicos/instrumentación; Transductores; Diseño de Equipo; Análisis de Falla de Equipo; Miniaturización

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Texto completo: 1 Colección: 01-internacional Base de datos: MEDLINE Asunto principal: Transductores / Acústica / Sistemas Microelectromecánicos / Aceleración / Membranas Artificiales Idioma: En Revista: IEEE Trans Ultrason Ferroelectr Freq Control Asunto de la revista: MEDICINA NUCLEAR Año: 2011 Tipo del documento: Article País de afiliación: Singapur

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