Snapshot phase sensitive scatterometry based on double-channel spectral carrier frequency concept.

Kim, Daesuk; Kim, Hyunsuk; Magnusson, Robert; Cho, Yong Jai; Chegal, Won; Cho, Hyun Mo

Kim, Daesuk; Kim, Hyunsuk; Magnusson, Robert; Cho, Yong Jai; Chegal, Won; Cho, Hyun Mo.

Afiliación

Kim D; Division of Mechanical System Engineering, Chonbuk National University, 664-14 Duckjin-dong, Duckjin-gu, Jeonju 561-756, South Korea. dashi.kim@jbnu.ac.kr

Opt Express ; 19(24): 23790-9, 2011 Nov 21.

Article en En | MEDLINE | ID: mdl-22109404

Asunto(s)

Modelos Teóricos; Fotometría/métodos; Refractometría/métodos; Análisis Espectral/métodos; Simulación por Computador; Luz; Dispersión de Radiación

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Texto completo: 1 Colección: 01-internacional Base de datos: MEDLINE Asunto principal: Fotometría / Refractometría / Análisis Espectral / Modelos Teóricos Tipo de estudio: Diagnostic_studies Idioma: En Revista: Opt Express Asunto de la revista: OFTALMOLOGIA Año: 2011 Tipo del documento: Article País de afiliación: Corea del Sur

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