Development of a long-slot microwave plasma source. | Rev Sci Instrum;87(2): 02C104, 2016 Feb. | MEDLINE

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Development of a long-slot microwave plasma source.

Kuwata, Y; Kasuya, T; Miyamoto, N; Wada, M.

Afiliación

Kuwata Y; Graduate School of Science and Engineering, Doshisha University, Kyotanabe, Kyoto 610-0321, Japan.
Kasuya T; Graduate School of Science and Engineering, Doshisha University, Kyotanabe, Kyoto 610-0321, Japan.
Miyamoto N; Graduate School of Science and Engineering, Doshisha University, Kyotanabe, Kyoto 610-0321, Japan.
Wada M; Graduate School of Science and Engineering, Doshisha University, Kyotanabe, Kyoto 610-0321, Japan.

Rev Sci Instrum ; 87(2): 02C104, 2016 Feb.

Article en En | MEDLINE | ID: mdl-26932114

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Texto completo: 1 Colección: 01-internacional Base de datos: MEDLINE Idioma: En Revista: Rev Sci Instrum Año: 2016 Tipo del documento: Article País de afiliación: Japón

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