Multi-photon vertical cross-sectional imaging with a dynamically-balanced thin-film PZT z-axis microactuator.
J Microelectromech Syst
; 26(5): 1018-1029, 2017 Oct.
Article
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| MEDLINE
| ID: mdl-29398884
Texto completo:
1
Colección:
01-internacional
Base de datos:
MEDLINE
Tipo de estudio:
Prevalence_studies
Idioma:
En
Revista:
J Microelectromech Syst
Año:
2017
Tipo del documento:
Article
País de afiliación:
Marruecos