Curved Structure of Si by Improving Etching Direction Controllability in Magnetically Guided Metal-Assisted Chemical Etching.
Micromachines (Basel)
; 11(8)2020 Jul 30.
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| ID: mdl-32751667
Texto completo:
1
Colección:
01-internacional
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MEDLINE
Idioma:
En
Revista:
Micromachines (Basel)
Año:
2020
Tipo del documento:
Article
País de afiliación:
Estados Unidos