Mode-localized accelerometer in the nonlinear Duffing regime with 75 ng bias instability and 95 ng/âHz noise floor.
Microsyst Nanoeng
; 8: 17, 2022.
Article
en En
| MEDLINE
| ID: mdl-35178247
Texto completo:
1
Colección:
01-internacional
Base de datos:
MEDLINE
Tipo de estudio:
Prognostic_studies
Idioma:
En
Revista:
Microsyst Nanoeng
Año:
2022
Tipo del documento:
Article