SU-8 cantilever with integrated pyrolyzed glass-like carbon piezoresistor.
Microsyst Nanoeng
; 8: 22, 2022.
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| ID: mdl-35223080
Texto completo:
1
Colección:
01-internacional
Base de datos:
MEDLINE
Idioma:
En
Revista:
Microsyst Nanoeng
Año:
2022
Tipo del documento:
Article
País de afiliación:
Suiza