Design of experiment for optimization of plasma-polymerized octafluorocyclobutane coating on very high aspect ratio silicon molds.

Yeo, L P; Yan, Y H; Lam, Y C; Chan-Park, Mary B

Yeo, L P; Yan, Y H; Lam, Y C; Chan-Park, Mary B.

Afiliação

Yeo LP; The Singapore-MIT Alliance, Innovation in Manufacturing Systems and Technology Program, School of Chemical and Biomedical Engineering, and School of Mechanical and Aerospace Engineering, Nanyang Technological University, Singapore, Singapore.

Langmuir ; 22(24): 10196-203, 2006 Nov 21.

Article em En | MEDLINE | ID: mdl-17107021

Assuntos

Materiais Biocompatíveis/química; Clorofluorcarbonetos de Metano/química; Silício/química; Propriedades de Superfície; Clorofluorcarbonetos; Materiais Revestidos Biocompatíveis/química; Dimetilpolisiloxanos/química; Desenho de Equipamento; Flúor/química; Microscopia Eletrônica de Varredura; Modelos Estatísticos; Modelos Teóricos; Nylons/química; Espectrometria por Raios X

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Coleções: 01-internacional Base de dados: MEDLINE Assunto principal: Silício / Propriedades de Superfície / Materiais Biocompatíveis / Clorofluorcarbonetos de Metano Tipo de estudo: Prognostic_studies / Risk_factors_studies Idioma: En Revista: Langmuir Assunto da revista: QUIMICA Ano de publicação: 2006 Tipo de documento: Article País de afiliação: Singapura

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