Enhancement of ohmic and stochastic heating by resonance effects in capacitive radio frequency discharges: a theoretical approach.
Phys Rev Lett
; 101(8): 085004, 2008 Aug 22.
Article
em En
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| ID: mdl-18764627
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Coleções:
01-internacional
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MEDLINE
Tipo de estudo:
Prognostic_studies
Idioma:
En
Revista:
Phys Rev Lett
Ano de publicação:
2008
Tipo de documento:
Article
País de afiliação:
Alemanha