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Portable atomic layer deposition reactor for in situ synchrotron photoemission studies.
Methaapanon, R; Geyer, S M; Hagglund, C; Pianetta, P A; Bent, S F.
Afiliação
  • Methaapanon R; Department of Chemical Engineering, Stanford University, Stanford, California 94305, USA.
Rev Sci Instrum ; 84(1): 015104, 2013 Jan.
Article em En | MEDLINE | ID: mdl-23387692
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Texto completo: 1 Coleções: 01-internacional Base de dados: MEDLINE Idioma: En Revista: Rev Sci Instrum Ano de publicação: 2013 Tipo de documento: Article País de afiliação: Estados Unidos
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