Low-Temperature Direct Growth of Amorphous Boron Nitride Films for High-Performance Nanoelectronic Device Applications.
ACS Appl Mater Interfaces
; 15(5): 7274-7281, 2023 Feb 08.
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1
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Idioma:
En
Revista:
ACS Appl Mater Interfaces
Assunto da revista:
BIOTECNOLOGIA
/
ENGENHARIA BIOMEDICA
Ano de publicação:
2023
Tipo de documento:
Article