Structural properties of Al/Mo/SiC multilayers with high reflectivity for extreme ultraviolet light.

Hu, Min-Hui; Le Guen, Karine; André, Jean-Michel; Jonnard, Philippe; Meltchakov, Evgueni; Delmotte, Franck; Galtayries, Anouk

Hu, Min-Hui; Le Guen, Karine; André, Jean-Michel; Jonnard, Philippe; Meltchakov, Evgueni; Delmotte, Franck; Galtayries, Anouk.

Afiliação

Hu MH; Laboratoire Chimie Physique-Matière Rayonnement, UPMC Université Paris 06, CNRS UMR 7614, Paris, France.

Opt Express ; 18(19): 20019-28, 2010 Sep 13.

Article em En | MEDLINE | ID: mdl-20940893

Assuntos

Alumínio/química; Compostos Inorgânicos de Carbono/química; Lentes; Membranas Artificiais; Molibdênio/química; Fotometria/instrumentação; Refratometria/instrumentação; Compostos de Silício/química; Desenho de Equipamento; Análise de Falha de Equipamento; Teste de Materiais; Raios Ultravioleta

Texto completo

Imprimir

XML

PubMed Links

Buscar no Google

Texto completo: 1 Coleções: 01-internacional Base de dados: MEDLINE Assunto principal: Fotometria / Refratometria / Compostos de Silício / Compostos Inorgânicos de Carbono / Alumínio / Lentes / Membranas Artificiais / Molibdênio Idioma: En Revista: Opt Express Ano de publicação: 2010 Tipo de documento: Article

Texto completo

Imprimir

XML

PubMed Links

Buscar no Google