Discontinuous surface measurement by wavelength-tuning interferometry with the excess fraction method correcting scanning nonlinearity. | Appl Opt;50(6): 962-9, 2011 Feb 20. | MEDLINE

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Discontinuous surface measurement by wavelength-tuning interferometry with the excess fraction method correcting scanning nonlinearity.

Hibino, Kenichi; Tani, Yosuke; Bitou, Youichi; Takatsuji, Toshiyuki; Warisawa, Shinichi; Mitsuishi, Mamoru.

Afiliação

Hibino K; National Institute of Advanced Industrial Science and Technology, 1-2-1 Namiki, Tsukuba 305-8564, Japan. k.hibino@aist.go.jp

Appl Opt ; 50(6): 962-9, 2011 Feb 20.

Article em En | MEDLINE | ID: mdl-21343977

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Texto completo: 1 Coleções: 01-internacional Base de dados: MEDLINE Idioma: En Revista: Appl Opt Ano de publicação: 2011 Tipo de documento: Article

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