High speed nano-metrology. | Rev Sci Instrum;82(4): 043710, 2011 Apr. | MEDLINE

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High speed nano-metrology.

Humphris, Andrew D L; Zhao, Bin; Catto, David; Howard-Knight, Jeremy P; Kohli, Priyanka; Hobbs, Jamie K.

Afiliação

Humphris AD; Infinitesima Ltd, Oxford Centre for Innovation, Mill St., Oxford OX2 0JX, United Kingdom.

Rev Sci Instrum ; 82(4): 043710, 2011 Apr.

Article em En | MEDLINE | ID: mdl-21529016

Assuntos

Microscopia de Força Atômica/métodos; Nanotecnologia/métodos; Calibragem; Análise de Elementos Finitos; Microscopia de Força Atômica/instrumentação; Nanotecnologia/instrumentação; Semicondutores; Silício; Fatores de Tempo

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Texto completo: 1 Coleções: 01-internacional Base de dados: MEDLINE Assunto principal: Microscopia de Força Atômica / Nanotecnologia Idioma: En Revista: Rev Sci Instrum Ano de publicação: 2011 Tipo de documento: Article

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