An EUV beamsplitter based on conical grazing incidence diffraction.
Opt Express
; 20(2): 1825-38, 2012 Jan 16.
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em En
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| ID: mdl-22274527
Texto completo:
1
Coleções:
01-internacional
Base de dados:
MEDLINE
Assunto principal:
Silício
/
Dióxido de Silício
/
Óptica e Fotônica
/
Lasers
/
Modelos Teóricos
Tipo de estudo:
Incidence_studies
/
Risk_factors_studies
Idioma:
En
Revista:
Opt Express
Ano de publicação:
2012
Tipo de documento:
Article