Development of a novel 3-degrees of freedom flexure based positioning system. | Rev Sci Instrum;83(5): 055114, 2012 May. | MEDLINE

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Development of a novel 3-degrees of freedom flexure based positioning system.

Kim, Hyo-Young; Ahn, Da-Hoon; Gweon, Dae-Gab.

Afiliação

Kim HY; Mechanical Engineering Department, KAIST, Daejeon, Korea. gydud0717@kaist.ac.kr

Rev Sci Instrum ; 83(5): 055114, 2012 May.

Article em En | MEDLINE | ID: mdl-22667664

Assuntos

Fenômenos Mecânicos; Nanotecnologia/instrumentação; Desenho de Equipamento; Modelos Teóricos

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Texto completo: 1 Coleções: 01-internacional Base de dados: MEDLINE Assunto principal: Nanotecnologia / Fenômenos Mecânicos Tipo de estudo: Prognostic_studies Idioma: En Revista: Rev Sci Instrum Ano de publicação: 2012 Tipo de documento: Article

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Texto completo: 1 Coleções: 01-internacional Base de dados: MEDLINE Assunto principal: Nanotecnologia / Fenômenos Mecânicos Tipo de estudo: Prognostic_studies Idioma: En Revista: Rev Sci Instrum Ano de publicação: 2012 Tipo de documento: Article