Development of a compact and long range XYÎ¸(z) nano-positioning stage. | Rev Sci Instrum;83(8): 085102, 2012 Aug. | MEDLINE

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Development of a compact and long range XYÎ¸(z) nano-positioning stage.

Kim, Hyunchang; Gweon, Dae-Gab.

Afiliação

Kim H; Department of Mechanical Engineering, KAIST, Daejeon 120-749, South Korea.

Rev Sci Instrum ; 83(8): 085102, 2012 Aug.

Article em En | MEDLINE | ID: mdl-22938327

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Texto completo: 1 Coleções: 01-internacional Base de dados: MEDLINE Idioma: En Revista: Rev Sci Instrum Ano de publicação: 2012 Tipo de documento: Article

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