Highly porous silicon membranes fabricated from silicon nitride/silicon stacks.

Qi, Chengzhu; Striemer, Christopher C; Gaborski, Thomas R; McGrath, James L; Fauchet, Philippe M

Qi, Chengzhu; Striemer, Christopher C; Gaborski, Thomas R; McGrath, James L; Fauchet, Philippe M.

Afiliação

Qi C; Department of Electrical Engineering and Computer Science, Vanderbilt University, Nashville, TN, 37235, United States; Materials Science Program, University of Rochester, Rochester, NY, 14627, United States.

Small ; 10(14): 2946-53, 2014 Jul 23.

Article em En | MEDLINE | ID: mdl-24623562

Palavras-chave

interface properties; nanocrystalline silicon; porous silicon membranes; rapid thermal annealing; thermal crystallization

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Texto completo: 1 Coleções: 01-internacional Base de dados: MEDLINE Idioma: En Revista: Small Ano de publicação: 2014 Tipo de documento: Article

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