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Fractional Talbot lithography with extreme ultraviolet light.
Kim, Hyun-su; Li, Wei; Danylyuk, Serhiy; Brocklesby, William S; Marconi, Mario C; Juschkin, Larissa.
Opt Lett ; 39(24): 6969-72, 2014 Dec 15.
Article em En | MEDLINE | ID: mdl-25503043
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Texto completo: 1 Coleções: 01-internacional Base de dados: MEDLINE Idioma: En Revista: Opt Lett Ano de publicação: 2014 Tipo de documento: Article
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