Fabrication of Uniform Wrinkled Silica Nanoparticles and Their Application to Abrasives in Chemical Mechanical Planarization.
ACS Appl Mater Interfaces
; 10(14): 11843-11851, 2018 Apr 11.
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Idioma:
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Revista:
ACS Appl Mater Interfaces
Ano de publicação:
2018
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Article