Atomic Nature of the Growth Mechanism of Atomic Layer Deposited High-κ Y2O3 on GaAs(001)-4 × 6 Based on in Situ Synchrotron Radiation Photoelectron Spectroscopy.
ACS Omega
; 3(2): 2111-2118, 2018 Feb 28.
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Idioma:
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Revista:
ACS Omega
Ano de publicação:
2018
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Article