Surface Modification of Nanoporous Anodic Alumina during Self-Catalytic Atomic Layer Deposition of Silicon Dioxide from (3-Aminopropyl)Triethoxysilane.

González, Ana Silvia; Vega, Víctor; Cuevas, Ana Laura; Yuso, María Del Valle Martínez de; Prida, Víctor M; Benavente, Juana

González, Ana Silvia; Vega, Víctor; Cuevas, Ana Laura; Yuso, María Del Valle Martínez de; Prida, Víctor M; Benavente, Juana.

Afiliação

González AS; Departamento de Física, Facultad de Ciencias, Universidad de Oviedo, E-33007 Oviedo, Spain.
Vega V; Laboratorio de Membranas Nanoporosas, Servicios Científico-Técnicos, Universidad de Oviedo, E-33006 Oviedo, Spain.
Cuevas AL; Unidad de Nanotecnología, SCBI Centro, Universidad de Málaga, E-29071 Málaga, Spain.
Yuso MDVM; Servicios Centrales de Investigación, Universidad de Málaga, E-29071 Málaga, Spain.
Prida VM; Departamento de Física, Facultad de Ciencias, Universidad de Oviedo, E-33007 Oviedo, Spain.
Benavente J; Departmento de Física Aplicada I, Facultad de Ciencias, Universidad de Málaga, E-29071 Málaga, Spain.

Materials (Basel) ; 14(17)2021 Sep 03.

Article em En | MEDLINE | ID: mdl-34501141

Palavras-chave

APTES and ozone precursors; XPS; atomic layer deposition; impedance and optical measurements; nanoporous alumina structure; surface modification

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Texto completo: 1 Coleções: 01-internacional Base de dados: MEDLINE Idioma: En Revista: Materials (Basel) Ano de publicação: 2021 Tipo de documento: Article

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