Design of an efficient illuminator for partially coherent sources in the extreme ultraviolet. | Appl Opt;61(11): 3026-3033, 2022 Apr 10. | MEDLINE

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Design of an efficient illuminator for partially coherent sources in the extreme ultraviolet.

Lüttgenau, Bernhard; Panitzek, Dieter; Danylyuk, Serhiy; Brose, Sascha; Stollenwerk, Jochen; Loosen, Peter; Holly, Carlo.

Appl Opt ; 61(11): 3026-3033, 2022 Apr 10.

Article em En | MEDLINE | ID: mdl-35471276

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Texto completo: 1 Coleções: 01-internacional Base de dados: MEDLINE Idioma: En Revista: Appl Opt Ano de publicação: 2022 Tipo de documento: Article

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