Development of a confocal line-scan laser scattering probe for dark-field surface defects detection of transmissive optics.
Rev Sci Instrum
; 93(8): 083703, 2022 Aug 01.
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em En
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MEDLINE
Tipo de estudo:
Diagnostic_studies
Idioma:
En
Revista:
Rev Sci Instrum
Ano de publicação:
2022
Tipo de documento:
Article