Reduction of motion axis by sensitivity calibration of sensor in shape measurement instrument using normal vector tracing. | Rev Sci Instrum;94(1): 015114, 2023 Jan 01. | MEDLINE

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Reduction of motion axis by sensitivity calibration of sensor in shape measurement instrument using normal vector tracing.

Miyawaki, Takashi; Ikuchi, Mikiya; Endo, Katsuyoshi.

Afiliação

Miyawaki T; Office of President, Nikon Corporation, 2-15-3 Kounan, Minato-ku, Japan.
Ikuchi M; Research Center for Precision Engineering, Osaka University, 2-1 Yamada-oka, Suita, Osaka, Japan.
Endo K; Research Center for Precision Engineering, Osaka University, 2-1 Yamada-oka, Suita, Osaka, Japan.

Rev Sci Instrum ; 94(1): 015114, 2023 Jan 01.

Article em En | MEDLINE | ID: mdl-36725549

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Texto completo: 1 Coleções: 01-internacional Base de dados: MEDLINE Tipo de estudo: Diagnostic_studies / Prognostic_studies Idioma: En Revista: Rev Sci Instrum Ano de publicação: 2023 Tipo de documento: Article

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