Improved hydrogen ionization rate in enhanced glow discharge plasma immersion ion implantation by enlarging the interaction path using an insulating tube.

Wang, Zhuo; Zhu, Ying; Li, Liu He; Lu, Qiu Yuan; He, Fu Shun; Dun, Dan Dan; Li, Fen; Fu, Ricky K Y; Chu, Paul K

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Improved hydrogen ionization rate in enhanced glow discharge plasma immersion ion implantation by enlarging the interaction path using an insulating tube.

Wang, Zhuo; Zhu, Ying; Li, Liu He; Lu, Qiu Yuan; He, Fu Shun; Dun, Dan Dan; Li, Fen; Fu, Ricky K Y; Chu, Paul K.

Afiliação

Wang Z; Department of Physics and Materials Science, City University of Hong Kong, Kowloon, Hong Kong.

Rev Sci Instrum ; 82(2): 023503, 2011 Feb.

Article em En | MEDLINE | ID: mdl-21361591

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