Performance Evaluation of RF Generators with <i>In-Situ</i> Plasma Process Monitoring Sensors. | J Nanosci Nanotechnol;19(10): 6499-6505, 2019 10 01. | MEDLINE

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Performance Evaluation of RF Generators with In-Situ Plasma Process Monitoring Sensors.

Jo, Kyung-Jae; Hong, Sang Jeen.

Afiliação

Jo KJ; Department of Electronics Engineering, Myongji University, Yoing 17058, Korea.
Hong SJ; Department of Electronics Engineering, Myongji University, Yoing 17058, Korea.

J Nanosci Nanotechnol ; 19(10): 6499-6505, 2019 10 01.

Article em En | MEDLINE | ID: mdl-31026984

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Texto completo: 1 Coleções: 01-internacional Base de dados: MEDLINE Idioma: En Revista: J Nanosci Nanotechnol Ano de publicação: 2019 Tipo de documento: Article

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