Thermal annealing study of the mid-infrared aluminum nitride on insulator (AlNOI) photonics platform.
Opt Express
; 27(14): 19815-19826, 2019 Jul 08.
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Idioma:
En
Revista:
Opt Express
Assunto da revista:
OFTALMOLOGIA
Ano de publicação:
2019
Tipo de documento:
Article