Extreme UV Resist Exhibiting Synergism between Chemical and Physical Crosslinking Mechanisms.
Langmuir
; 39(9): 3462-3470, 2023 Mar 07.
Article
em En
| MEDLINE
| ID: mdl-36827550
Texto completo:
1
Coleções:
01-internacional
Base de dados:
MEDLINE
Idioma:
En
Revista:
Langmuir
Assunto da revista:
QUIMICA
Ano de publicação:
2023
Tipo de documento:
Article