Development and Research of the Sensitive Element of the MEMS Gyroscope Manufactured Using SOI Technology.
Micromachines (Basel)
; 14(4)2023 Apr 21.
Article
em En
| MEDLINE
| ID: mdl-37421128
Texto completo:
1
Coleções:
01-internacional
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MEDLINE
Tipo de estudo:
Diagnostic_studies
/
Prognostic_studies
Idioma:
En
Revista:
Micromachines (Basel)
Ano de publicação:
2023
Tipo de documento:
Article
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Federação Russa