Application of laser-induced breakdown spectroscopy for real-time detection of contamination particles during the manufacturing process.
Appl Opt
; 57(12): 3288-3292, 2018 Apr 20.
Article
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| MEDLINE
| ID: mdl-29714318
Texto completo:
1
Colección:
01-internacional
Banco de datos:
MEDLINE
Tipo de estudio:
Diagnostic_studies
Idioma:
En
Revista:
Appl Opt
Año:
2018
Tipo del documento:
Article