Wafer-level testing of inverse-designed and adjoint-inspired vertical grating coupler designs compatible with DUV lithography.
Opt Express
; 29(23): 37021-37036, 2021 Nov 08.
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| ID: mdl-34808782
Texto completo:
1
Colección:
01-internacional
Banco de datos:
MEDLINE
Idioma:
En
Revista:
Opt Express
Asunto de la revista:
OFTALMOLOGIA
Año:
2021
Tipo del documento:
Article