Gradual tilting exposure photo and nano lithography technique. | Appl Opt;51(16): 3329-37, 2012 Jun 01. | MEDLINE

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Gradual tilting exposure photo and nano lithography technique.

Kolahdouz, Z; Koohsorkhi, J; Cheraghi, M A; Saviz, M; Mohajerzadeh, S.

Afiliação

Kolahdouz Z; Thin Film and Nanoelectronic Laboratory, School of Electrical and Computer Engineering, University of Tehran, Tehran, Iran.

Appl Opt ; 51(16): 3329-37, 2012 Jun 01.

Article em En | MEDLINE | ID: mdl-22695567

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Texto completo: 1 Coleções: 01-internacional Base de dados: MEDLINE Idioma: En Revista: Appl Opt Ano de publicação: 2012 Tipo de documento: Article País de afiliação: Irã

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