The Behavior of Gold Metallized AlN/Si- and AlN/Glass-Based SAW Structures as Temperature Sensors.
IEEE Trans Ultrason Ferroelectr Freq Control
; 68(5): 1938-1948, 2021 May.
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Idioma:
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Revista:
IEEE Trans Ultrason Ferroelectr Freq Control
Assunto da revista:
MEDICINA NUCLEAR
Ano de publicação:
2021
Tipo de documento:
Article