Extreme ultraviolet proximity lithography for fast, flexible and parallel fabrication of infrared antennas.
Opt Express
; 23(20): 25487-95, 2015 Oct 05.
Article
em En
| MEDLINE
| ID: mdl-26480066
Texto completo:
1
Coleções:
01-internacional
Base de dados:
MEDLINE
Idioma:
En
Revista:
Opt Express
Assunto da revista:
OFTALMOLOGIA
Ano de publicação:
2015
Tipo de documento:
Article