Compositional accuracy of atom probe tomography measurements in GaN: Impact of experimental parameters and multiple evaporation events.

Russo, E Di; Blum, I; Houard, J; Gilbert, M; Da Costa, G; Blavette, D; Rigutti, L

Russo, E Di; Blum, I; Houard, J; Gilbert, M; Da Costa, G; Blavette, D; Rigutti, L.

Afiliação

Russo ED; UNIROUEN, INSA Rouen, CNRS, Groupe de Physique des Matériaux, Normandie Université, 76000 Rouen, France.
Blum I; UNIROUEN, INSA Rouen, CNRS, Groupe de Physique des Matériaux, Normandie Université, 76000 Rouen, France.
Houard J; UNIROUEN, INSA Rouen, CNRS, Groupe de Physique des Matériaux, Normandie Université, 76000 Rouen, France.
Gilbert M; UNIROUEN, INSA Rouen, CNRS, Groupe de Physique des Matériaux, Normandie Université, 76000 Rouen, France.
Da Costa G; UNIROUEN, INSA Rouen, CNRS, Groupe de Physique des Matériaux, Normandie Université, 76000 Rouen, France.
Blavette D; UNIROUEN, INSA Rouen, CNRS, Groupe de Physique des Matériaux, Normandie Université, 76000 Rouen, France.
Rigutti L; UNIROUEN, INSA Rouen, CNRS, Groupe de Physique des Matériaux, Normandie Université, 76000 Rouen, France. Electronic address: lorenzo.rigutti@univ-rouen.fr.

Ultramicroscopy ; 187: 126-134, 2018 04.

Article em En | MEDLINE | ID: mdl-29454890

Palavras-chave

Atom probe; Composition analysis; Compositional accuracy; GaN; Metrology

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Texto completo: 1 Coleções: 01-internacional Base de dados: MEDLINE Idioma: En Revista: Ultramicroscopy Ano de publicação: 2018 Tipo de documento: Article País de afiliação: França

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