Monolithically integrated optical displacement sensor based on triangulation and optical beam deflection.

Higurashi, E; Sawada, R; Ito, T.

Afiliación

Higurashi E; NTT Opto-electronics Laboratories, 3-9-11 Midori-cho, Musashino-shi, Tokyo 180-8585, Japan. eiji@ilab.ntt.co.jp

Appl Opt ; 38(9): 1746-51, 1999 Mar 20.

Article en En | MEDLINE | ID: mdl-18305799

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Bases de datos: MEDLINE Idioma: En Revista: Appl Opt Año: 1999 Tipo del documento: Article País de afiliación: Japón

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