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Metal assisted anodic etching of silicon.
Lai, Chang Quan; Zheng, Wen; Choi, W K; Thompson, Carl V.
Afiliación
  • Lai CQ; Advanced Materials for Micro- and Nano-Systems Programme, Singapore-MIT Alliance, National University of Singapore, Singapore 117583, Singapore.
Nanoscale ; 7(25): 11123-34, 2015 Jul 07.
Article en En | MEDLINE | ID: mdl-26059556
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Texto completo: 1 Bases de datos: MEDLINE Tipo de estudio: Qualitative_research Idioma: En Revista: Nanoscale Año: 2015 Tipo del documento: Article País de afiliación: Singapur
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