Rapid and precise characterization of sub-µm surface defects using laser scatterometer devising a polygonal-shaped waveguide with double-slit aperture.
Opt Express
; 27(25): 36923-36931, 2019 Dec 09.
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1
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Idioma:
En
Revista:
Opt Express
Asunto de la revista:
OFTALMOLOGIA
Año:
2019
Tipo del documento:
Article