Aging and thermal stability of Mg/SiC and Mg/Y2O3 reflection multilayers in the 25-35 nm region.
Appl Opt
; 44(26): 5446-53, 2005 Sep 10.
Article
em En
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| ID: mdl-16161658
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Idioma:
En
Revista:
Appl Opt
Ano de publicação:
2005
Tipo de documento:
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