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Aging and thermal stability of Mg/SiC and Mg/Y2O3 reflection multilayers in the 25-35 nm region.
Ejima, Takeo; Yamazaki, Atsushi; Banse, Takanori; Saito, Katsuhiko; Kondo, Yuji; Ichimaru, Satoshi; Takenaka, Hisataka.
Afiliação
  • Ejima T; Institute of Multidisciplinary Research for Advanced Materials, Tohoku University, 2-1-1 Katahira, Aoba-ku, Sendai 980-8577, Japan. ejima@tagen.tohoku.ac.jp
Appl Opt ; 44(26): 5446-53, 2005 Sep 10.
Article em En | MEDLINE | ID: mdl-16161658
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Base de dados: MEDLINE Idioma: En Revista: Appl Opt Ano de publicação: 2005 Tipo de documento: Article País de afiliação: Japão
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