Characteristics of nanocomposite ZrO2/Al2O3 films deposited by plasma-enhanced atomic layer deposition.
J Nanosci Nanotechnol
; 7(11): 4180-4, 2007 Nov.
Article
em En
| MEDLINE
| ID: mdl-18047146
Buscar no Google
Base de dados:
MEDLINE
Assunto principal:
Zircônio
/
Cristalização
/
Nanotecnologia
/
Nanoestruturas
/
Óxido de Alumínio
/
Membranas Artificiais
Idioma:
En
Revista:
J Nanosci Nanotechnol
Ano de publicação:
2007
Tipo de documento:
Article