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Effects of electron back-scattering in observations of cross-sectioned GaAs/AlAs superlattice with auger electron spectroscopy.
Suzuki, Mineharu; Urushihara, Nobuaki; Sanada, Noriaki; Paul, Dennis F; Bryan, Scott; Hammond, John S.
Afiliação
  • Suzuki M; ULVAC-PHI, Inc., Chigasaki, Kanagawa 253-8522, Japan. mineharu_suzuki@ulvac.com
Anal Sci ; 26(2): 203-8, 2010.
Article em En | MEDLINE | ID: mdl-20145321
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Base de dados: MEDLINE Idioma: En Revista: Anal Sci Ano de publicação: 2010 Tipo de documento: Article País de afiliação: Japão
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