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An inorganic-organic diblock copolymer photoresist for direct mesoporous SiCN ceramic patterns via photolithography.
Nguyen, Chi Thanh; Hoang, Phan Huy; Perumal, Jayakumar; Kim, Dong-Pyo.
Afiliação
  • Nguyen CT; National Creative Research Center of Applied Microfluidic Chemistry, Chungnam National University, 220 Kung Dong, Yuseong Gu, Daejeon 305-764, Korea.
Chem Commun (Camb) ; 47(12): 3484-6, 2011 Mar 28.
Article em En | MEDLINE | ID: mdl-21311806

Texto completo: 1 Base de dados: MEDLINE Assunto principal: Compostos Orgânicos / Polímeros / Impressão / Cerâmica / Compostos de Silício / Cianetos / Luz Idioma: En Revista: Chem Commun (Camb) Assunto da revista: QUIMICA Ano de publicação: 2011 Tipo de documento: Article

Texto completo: 1 Base de dados: MEDLINE Assunto principal: Compostos Orgânicos / Polímeros / Impressão / Cerâmica / Compostos de Silício / Cianetos / Luz Idioma: En Revista: Chem Commun (Camb) Assunto da revista: QUIMICA Ano de publicação: 2011 Tipo de documento: Article