An inorganic-organic diblock copolymer photoresist for direct mesoporous SiCN ceramic patterns via photolithography.
Chem Commun (Camb)
; 47(12): 3484-6, 2011 Mar 28.
Article
em En
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1
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MEDLINE
Assunto principal:
Compostos Orgânicos
/
Polímeros
/
Impressão
/
Cerâmica
/
Compostos de Silício
/
Cianetos
/
Luz
Idioma:
En
Revista:
Chem Commun (Camb)
Assunto da revista:
QUIMICA
Ano de publicação:
2011
Tipo de documento:
Article