Ultralow-loss, high-density SOI optical waveguide routing for macrochip interconnects.
Opt Express
; 20(11): 12035-9, 2012 May 21.
Article
em En
| MEDLINE
| ID: mdl-22714189
We report optical waveguides up to one meter long with 0.026 dB/cm loss fabricated in a 300nm thick SOI CMOS process. Combined with tight bends and compact interlayer grating couplers, we demonstrate a complete toolbox for ultralow-loss, high-density waveguide routing for macrochip interconnects.
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1
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MEDLINE
Assunto principal:
Semicondutores
/
Telecomunicações
/
Ressonância de Plasmônio de Superfície
Idioma:
En
Revista:
Opt Express
Assunto da revista:
OFTALMOLOGIA
Ano de publicação:
2012
Tipo de documento:
Article
País de afiliação:
Estados Unidos